关键词:派瑞林镀膜、派瑞林镀膜真空系统、派瑞林镀膜真空计选型、皮拉尼真空计、INFITECH 真空计、强沉积工况真空监测做派瑞林(Parylene)镀膜的人都知道,这条工艺有点“阴损”:设备看上去不复杂,真空系统也就是常规配置,工艺窗口盯着十几毫托、差不多 1 Pa 左右的真空区间;一旦调顺了,产品膜层均匀、外观好看,大家相安无事。但时间拉长到几个月,你再打开腔体、挡流片、管路内壁,会发现到...
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