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真空计原理

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作者:INFITECH来源:原创

经常有同学询问真空计原理,这里为大家做个系统的解释,按照不同的真空计分类,详细说明每种真空计的工作原理。


皮拉尼真空计原理

利用电热丝的能量损失与热丝周围的气体浓度及气体成分成比例关系的原理,给灯丝通过恒流源供电加热,由于气体粒子与电阻丝碰撞离开时带走了能量,电阻丝的温度会发生变化(恒温)引起电桥(惠斯通) 电阻变化,根据电阻变化测算出气压。

皮拉尼真空计原理


热阴极电离规真空计原理

高温灯丝发射电子,高能量电子撞击气体分子,气体分子的一个或 多个电子被撞击出去,形成带正电的离子,带电离子被离子收集极 捕捉收集放大输出,离子流的大小与气体压力成比例关系。

热阴极电离规真空计原理



热阴极电离规规管

冷阴极电离规真空计原理

冷阴极电离规也称为潘宁规,和热阴极电离规类似,仍是通过电离气体分子收集离子电流的方法进行气压 测量,但与热阴极电离规不同的是,它是利用磁控放电电离气体分 子产生离子。

冷阴极电离规真空计原理




以上为大家详细介绍了几种常见真空计原理,相信通过本文的描述,你对真空计的工作原理已经有了比较清楚的认知。当然,除了以上讨论的几种真空计外,还有其它的如麦氏真空计,薄膜真空计等,若要了解此类真空计工作原理,可以关注我公司网站的相关文章。


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