全方面分析腔体真空度下降的原因（实用）2095
首先进行真空系统是否漏气的判断，通常用静态压升法来判断。即容器抽到一定的压强后，关闭真空阀门将被抽容器与泵隔开，由于容器的漏气和材料的放气，容器中的压强将随时间的增加而变化，用相应的真空计每隔一定时间测量一次容器中的压强，就能绘出压强---时间曲线，曲线有四种情况如图所示。
1、直线a:为平行于横坐标的直线，压强随时间的延长不变，表示容器既不漏气也不放气，真空度上不去是由于泵的工作情况不良所致。 2、曲线b:压强开始上升较快，而后上升速度减慢，最后趋于平衡。表示容器没有漏气而是炉衬材料放气。 3、曲线c:压强随时间的延长成线性增长，表示容器漏气而炉衬材料不放气。 4、曲线d:压强开始上升较快，随后减慢，最后形成斜率为ΔP/ΔT的直线，说明容器既有漏气又有放气。 容器压强---时间曲线如果真空炉的压升率是第一种情况（曲线a ）,可以从以下几种情况查找原因： A ：机械泵抽气速率过低或真空度不高。旋片泵的结构、工作原理及故障维修见机械泵的使用说明书。 B：罗茨泵抽气速率过低或真空度不高。罗茨泵的结构、工作原理及维修间罗茨泵使用说明书。 C：K型高真空油扩散泵抽气速率过低。K型高真空扩散泵的工作原理及注意事项见高真空油扩散泵使用说明书。 K型油扩散泵常见故障见表
真空计或真空阀门控制失灵及排除方法见表
如果真空炉压升率是其它几种情况（曲线B,C,D ）可认为真空炉存在漏气或放气，其故障分析和排除方法见下表。
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