关键词:派瑞林镀膜、派瑞林镀膜真空系统、派瑞林镀膜真空计选型、皮拉尼真空计、INFITECH 真空计、强沉积工况真空监测做派瑞林(Parylene)镀膜的人都知道,这条工艺有点“阴损”:设备看上去不复杂,真空系统也就是常规配置,工艺窗口盯着十几毫托、差不多 1 Pa 左右的真空区间;一旦调顺了,产品膜层均匀、外观好看,大家相安无事。但时间拉长到几个月,你再打开腔体、挡流片、管路内壁,会发现到...
从热传导原理、典型偏差方向、100 Pa 以内修正到混合气体选型的一篇完整说明快速结论:皮拉尼真空计通过气体热传导能力间接测量压力,因此被测气体改变后,即使真实压力相同,仪表显示值也可能不同。空气和氮气通常最接近常规标定条件;氩气常使显示值低于实际压力;氦气和氢气常使显示值高于实际压力。单一气体在约 100 Pa 以内可参考对应产品的气体修正曲线或系数;混合气体如果只看重复性,皮拉尼仍可使用...