电子真空计的分类及特性

电子真空计是真空计类型中功能最齐全，最易于用于工业控制并实现智能化系统控制的一种真空计，常用的电子真空计有以下几种：

皮拉尼电子真空计

皮拉尼电阻真空计的原理参见：真空计原理

型号：PRV101,PRD101，VCT160，RCP230‍

具有如下特点：

1. 较宽的测量范围;

2. 传感器可以更换;

3. 响应迅速;

4. 设计紧凑，任意安装;

5. 接近大气压段，易受气体 类型影响

皮拉尼膜片电阻复合电子真空计

为了解决单纯的皮拉尼电电阻规真空计在大气端受气体种类影响较大且精度较低的缺陷，开发了膜片电阻与皮拉尼复合的电子真空计

型号：PVG550

具有如下特点：

1. 测量范围覆盖中低真空及正压，量程宽

2. 全量程高精度

3. 体积小巧

4. 不受气体种类影响

热阴极电离规电子真空计

热阴极电离规电子真空计的原理参见：真空计原理

热阴极电离规通常与皮拉尼电阻规复合在一起，这样做的好处在于：

1. 测量范围宽，覆盖10个量程:-5Pa到+5Pa

2. 精度高±10%~15%，极好的重复性;

3. 灯丝材料镀钇的铱丝有极好的抗氧化能力，皮拉尼自 锁保护，使灯丝并不会因突然暴露大气而烧毁;

4. 方便的校准调节;

5. 可选择数字信号输出

但是要注意，与冷阴极电离规电子真空计相比热阴极抗污染能力弱，灯丝容易烧断

型号：HFV106，ZJ2752

冷阴极电离规电子真空计

冷阴极电离规电子真空计又称潘宁规真空计，其原理参见：真空计原理

冷阴极也通常与皮拉尼电阻规复合在一起，这样做的好处在于：

1. 测量范围宽，覆盖10个量程:-5Pa到+5Pa

2. 精度高±10%~15%，极好的重复性;

3. 方便的校准调节;

4. 可选择数字信号输出

与热阴极相比，冷阴极电离规还有如下特点

1. 无灯丝

2. 易清洗

3. 应用于普通的高真空测量

与热电离规相比,可维护性高,不怕受污染烧灯丝,不过精度略差一些。

型号：CFV106